この商品について

LI-9x00 no image no image
クリックで拡大
ID mebacs-007
メーカー SCREEN
装置名 LI-9700
年式 2013年9月
ステータス 販売中
この商品に関するお問い合わせ

仕様等その他の情報

基本仕様
描画仕様
露光方式 :二次元変調素子投影描画方式
光源  :超高圧水銀灯(24灯式)
露光波長 :350~420nm
感材  :上記の露光波長に感度をもつレジスト
最大描画サイズ :550(W)×650(L)mm 
描画ピッチ :1μm
最小線幅(L/S) :15μm(レジストの特性により異なります)
描画時間
10mJ/cm2 :25秒  
50mJ/cm2  :40秒
100mJ/cm2 :48秒
200mJ/cm2 :61秒
300mJ/cm2 :75秒
注)1. 描画時間には基板セット時間は含みません。また、データーサイズにより描画時間は若干異なります。
  2. 550×340mm描画時の時間を表しています。

この商品に関するお問い合わせ

メールでの各種お問い合わせは、こちらからお受けしております。
お手数ですが、以下のフォームに必要事項をご記入の上、お問い合わせください。
なお、担当者からご連絡させていただくまでにお時間がかかる場合がございます。あらかじめご了承ください。
※は必須項目です。

以下の内容にご記入をお願いします。

貴社名
所属部署
役職名
お名前
フリガナ
ご住所

 (例:170-0013)


TEL (半角数字)
FAX (半角数字)
E-mail
E-mail(確認)
お問い合わせ内容

個人情報について

お問い合わせを送信いただく前に、必ず「プライバシーポリシー(個人情報の取り扱いについて)」をご確認ください。
本フォームは、ご同意いただける場合のみご利用いただけます。

プライバシーポリシー

同意する